電容傳感器是指將被測量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。它是非接觸型傳感器，其根據(jù)在傳感器電極和GND或人手之間產(chǎn)生的電容變化來檢測物體。實(shí)際上它本身（或和被測物體）就是一個(gè)可變電容器。傳感器電極可以是任何導(dǎo)電金屬，因此可以設(shè)計(jì)低成本且高度靈活的系統(tǒng)。

電容傳感器靈敏度高，具有以下特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強(qiáng)，易于制造，易于保證高的精度，可以做成小尺寸傳感器，以實(shí)現(xiàn)特殊測量，能工作在高低溫，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣環(huán)境中，可以承受高壓力，高沖擊，過載等。 第二點(diǎn)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，又其可動(dòng)部分可以做的很小很薄，因此其固有頻率很高動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動(dòng)態(tài)測量。

第三點(diǎn)是較大的相對變化量只受線性區(qū)限制，其值可達(dá)到百分之百或更大，可以保證傳感器的分辨率和測量范圍。第四點(diǎn)發(fā)熱小，自身溫度系數(shù)小，由于電容傳感器的電容值于電極材料無關(guān)，可以選擇溫度系數(shù)低的材料，在外界溫度穩(wěn)定的情況下，可以保證好的穩(wěn)定性。

那么哪些因素會影響到電容傳感器的精度。總的來講，電容式位移傳感器電容值變化可能相關(guān)的因素包括探頭到被測物之間的距離，相對面積和二者之間的介質(zhì)變化。例如灰塵，油污，水氣會改變介質(zhì)。遠(yuǎn)離或者靠近被測物，也會改變測量值。正對面積也會有影響。通常對于測距電容傳感器來講，如果要精度高，就要嚴(yán)格限制介質(zhì)和正對面積的變化。當(dāng)然溫度變化等因素也會影響傳感器精度，還有被測物接地，可以屏蔽由電源帶來的干擾，從而提高精度。

位移測量是線位移測量和角位移測量的總稱，位移測量在機(jī)電一體化制造系統(tǒng)中應(yīng)用十分廣泛。一般位移傳感器主要有：電感傳感器、電容傳感器、感應(yīng)同步器、光柵傳感器、磁柵傳感器、旋轉(zhuǎn)變壓器和光電編碼盤等。其中，旋轉(zhuǎn)變壓器和光電編碼盤只能測試角位移，其它幾種傳感器既有直線型位移傳感器又有角度型位移傳感器。

光柵是一種新型的位移檢測元件，是一種將機(jī)械位移或模擬量轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字脈沖的測量裝置。它的特點(diǎn)是測量精確度高（可達(dá)±1μm）、響應(yīng)速度快、量程范圍大、可進(jìn)行非接觸測量等。其易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字測量和自動(dòng)控制，廣泛用于數(shù)控機(jī)床和精密測量中。光柵的構(gòu)造。所謂光柵就是在透明的玻璃板上，均勻地刻出許多明暗相間的條紋，或在金屬鏡面上均勻地劃出許多間隔相等的條紋，通常線條的間隙和寬度是相等的。以透光的玻璃為載體的稱為透射光柵，不透光的金屬為載體的稱為反射光柵；根據(jù)光柵的外形可分為直線光柵和圓光柵。

光柵位移傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示。它主要由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光電器件和光源等組成。通常，標(biāo)尺光柵和被測物體相連，隨被測物體的直線位移而產(chǎn)生位移。一般標(biāo)尺光柵和指示光柵的刻線密度是相同的，而刻線之間的距離W稱為柵距。光柵條紋密度一般為每毫米25、50、100、250條等。