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彈性敏感元件

業界動態
華夏物聯網
2010-04-28
傳感器中由彈性材料制成的敏感元件。在傳感器的工作過程中常采用彈性敏感元件把力、壓力、力矩、振動等被測參量轉換成應變量或位移量,然后再通過各種轉換元件把應變量或位移量轉換成電量。彈性敏感元件的形式可以是實心或空心的圓柱體、等截面圓環、等截面或等強度懸臂梁、扭管等,也可以是彈簧管(波登管)、膜片、膜盒、波紋管、薄壁圓筒、薄壁半球等。彈性敏感元件在傳感器中占有很重要的地位,其質量的優劣直接影響傳感器的性能和精度。在很多情況下,它甚至是傳感器的核心部分。

  彈性敏感元件的基本特性可用剛度和靈敏度來表征。剛度是對彈性敏感元件在外力作用下變形大小的定量描述,即產生單位位移所需要的力(或壓力)。靈敏度是剛度的倒數,它表示單位作用力(或壓力)使彈性敏感元件產生形變的大小。實際的彈性材料在不同程度上普遍存在彈性滯后和彈性后效現象。彈性滯后是指彈性材料在加載、卸載的正反行程中,位移曲線是不重合的,構成一個彈性滯后環,即當載荷增加或減少至同一數值時位移之間存在一差值(圖中Δ&owega;)。彈性滯后的存在表明在卸載過程中沒有完全釋放外力所作的功,在一個加卸載的循環中所消耗的能量相當于滯后環包圍的面積。彈性后效是指載荷在停止變化之后,彈性元件在一段時間之內還會繼續產生類似蠕動的位移,又稱彈性蠕變。這兩種現象在彈性元件的工作過程中是相隨出現的,其后果是降低元件的品質因素并引起測量誤差和零點漂移,在傳感器的設計中應盡量使它們減小

  在設計傳感器之前應首先選擇性能良好的彈性元件材料。理想的彈性元件材料應具備強度高、彈性模量溫度系數小、熱膨脹系數小、各向同性和機械加工性能好、抗氧化和抗腐蝕性好、彈性滯后小等性能,但尋找同時滿足上述要求的彈性材料是困難的,只能根據傳感器的使用條件綜合考慮。彈性元件材料有彈性合金、石英、陶瓷和半導體硅等。常用彈性合金分為高彈性合金和恒彈性合金。銅基高彈性合金用得最早,如黃銅、磷青銅、鈦銅和鈹青銅等。由于銅基合金耐高溫和耐腐蝕性能差,因此鐵基和鎳基高彈性合金在一些應用場合逐漸取而代之。它們具有彈性高、滯后小、耐腐蝕等優點。高彈性合金的缺點是彈性模量的溫度系數大,因而帶來顯著的溫度誤差。因此測壓敏感元件(見壓力傳感器)普遍采用恒彈性合金材料。在一定溫度范圍內,恒彈性合金的彈性模量溫度系數很小,一般為±10×10-6/℃(如Ni42CrTiA1)。較理想的高溫恒彈性合金是鈮基合金。它的特點是無磁性、恒彈性(即溫度系數?。?、彈性模量低(即剛度小、可獲得高靈敏度)、強度高和耐腐蝕。石英也是一種優良的彈性元件材料,其滯后僅為最佳彈性合金的1/100,而熱線脹系數為它的1/30。陶瓷在破碎之前,應力-應變關系始終保持線性,最適于制作耐高溫的彈性元件。

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