
半導體晶圓生產需要高度精密的環境。灰塵,溫度,氣體都會高度影響生產的品質和效率。捷螺系統開發的此款(AMR)機器人,是氣體分析儀高度整合軟體及硬體,并可建構自動替換氣體分析模組功能及擴...[詳細]
2021-08-26來源:AGV網
半導體晶圓生產需要高度精密的環境。灰塵,溫度,氣體都會高度影響生產的品質和效率。捷螺系統開發的此款(AMR)機器人,是氣體分析儀高度整合軟體及硬體,并可建構自動替換氣體分析模組功能及擴...[詳細]
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