傳統(tǒng)的皮拉尼真空傳感器使用熱線或熱敏電阻，通過監(jiān)測(cè)熱線或熱敏電阻在真空環(huán)境中的熱傳遞來測(cè)量真空。博思發(fā)科技公司通過將皮拉尼傳感器的所有部件微加工成單一的集成微結(jié)構(gòu)，徹底改變了使用熱導(dǎo)率測(cè)量真空壓力的方式。由此產(chǎn)生的微型皮拉尼真空傳感器具有更高精度、可重復(fù)性、測(cè)量范圍和更低功耗，允許工程師設(shè)計(jì)出比以往設(shè)備大大縮小的真空測(cè)量產(chǎn)品和應(yīng)用。博思發(fā)科技公司的傳感器采用先進(jìn)的CMOS半導(dǎo)體工藝，具有卓越的性能和可擴(kuò)展性，在確保高品質(zhì)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了較低的生產(chǎn)成本。
采用TO5或TO46金屬封裝的MEMS微型皮拉尼真空傳感器。
